ウェーハ再生

ウェーハ再生とは、お客様で使用済みになったウェーハを 元のモニター、ダミーウェーハレベルに再生し、ご提供するサービスです。
再生処理工程はお客様のご要求仕様に応じて適切な処理方法(レシピ)を選択しています。

例えば、通常の再生方法ではダメージ層を取り除くため研磨処理を行いますが、 レジストの成膜テストなど表面ダメージが少ないウェーハに対しては研磨処理を伴わない ケミカル再生が有効です。研磨再生と比べてパーティクルレベルは劣りますが、材厚や平坦度を損なわない再生処理としてご好評をいただいています。

なお、再生処理費用は良品の仕上がり数量でご清算させていただきます。

再生する事ができなかったウェーハはお客様へご返却するか、またはリサイクル原料として使用できるものは当社にて環境に優しい材料に再利用させていただきます。

ケイ・エス・ティ・ワールドが提供するウェーハ再生サービスは、細かなランク分類にも対応するなど、柔軟性に優れ、再生後のウェーハに成膜してご提供するといった多様なご要求にもお応えいたします。

 

再生フローイメージ

 

再生方法

再生種類再生可能膜種サイズ
ケミカル再生 金・プラチナなどの貴金属以外 4インチ~12インチ
研磨再生 金・プラチナなどの貴金属以外 4インチ~12インチ